HIGHLIGHTS
核心亮点
01
远心成像，全电动光学系统
高清晰远心成像镜组实现 30X ~ 6000X 放大倍率，横向分辨力达 0.42μm。五颗物镜可选配、默认四颗全电动切换，变焦同样电动完成，全程无需手动干预，倍率切换精准可复现。
02
全自动三轴控制，大行程载台
电动 XY 轴搭配电动上、下双 Z 轴，实现全自动化高精度控制。130×110mm 或 200×100mm 大行程载台轻松容纳大尺寸样品，配合 -60° ~ 60° 倾斜观测，复杂曲面也能多角度完整检测。
03
百亿像素拼接，真三维合成
2D 拼接最大 100 亿像素，3D 拼接最大 25 亿像素（50000×50000），大范围样品也能无缝全景呈现。快速 3D 合成与高精度 3D 合成双模式并行，实时 3D 功能让立体形貌随操作即时可见。
04
画质引擎加持，测量一键成报
去除反光、去除光晕、消除紫边、HDR、光学阴影、抖动修正全套画质引擎，金属等难拍表面也清晰稳定。2D / 3D 测量、粗糙度分析完成后一键输出 Excel 报告，检测流程高效闭环。
SPECIFICATIONS
规格参数
项目指标（M130 / M200 共用）
放大倍率30X ~ 6000X，电动变焦
横向分辨力0.42μm
物镜M30 / M100 / M300 / M700 / M1500 五颗可选配，默认配 4 颗，全电动切换
观察距离 / 景深观察距离 1 ~ 30mm；最大景深 30mm
照明方式明场落射、明场片射、暗场落射、暗场片射、混合照明、透射照明，亮度可调；LED 光源理想寿命 40000h
倾斜观测-60° ~ 60°
相机1/1.7" 1222 万像素 CMOS（4168×3062），逐行扫描，30fps；快速 / 标准 / 高分辨率三档模式
显示器27 寸 4K（3840×2160），约 10.7 亿色
上 Z 轴电动，5 相步进电机，分辨率 0.02μm，速度 17mm/s，行程 60mm
画质提升去除反光、去除光晕、消除紫边、HDR、光学阴影、抖动修正、分辨率增强
拼接与合成2D 拼接最大 100 亿像素；3D 拼接最大 25 亿像素（50000×50000）；快速 / 高精度 3D 合成；实时 3D 显示
测量功能2D：距离 / 角度 / 半径 / 面积、自动抽取边缘、自动面积测量；3D：轮廓测量、粗糙度测量
观测功能自动 / 手动对焦、焦点视图、左右 / 上下 / 4 / 9 分屏、广角显示、1~10 倍实时数码变焦、批注显示
拍摄与输出图像 / 视频拍摄保存、定时拍摄、拍摄条件再现、报告输出 Excel
工控机第 12 代处理器，Windows 10 操作系统
电源功耗AC 220V，700W
工作环境5°C ~ 40°C，湿度 20% ~ 80% RH（无凝结）
型号差异M130M200
XY 载台行程130 × 110mm（X±65 / Y±55）200 × 100mm（X±100 / Y±50）
平台尺寸310 × 250mm408 × 292mm
最大样品高度82mm78mm
下 Z 轴行程32mm28mm
θ 旋转不支持不支持，可选配 360° 晶圆盘
重量46kg49kg
外形尺寸323 × 710 × 600mm420 × 710 × 628mm
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DI-AM1160/M130 产品 Spec 彩页
DI-AM1160/M200 产品 Spec 彩页